# A741 PVD Anlage Koala

Abgelaufen · Teilnahmewettbewerb

Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB) hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 27.01.2020 möglich. Bisher kein Ergebnis gefunden.

- Auftraggeber: [Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/helmholtz-zentrum-berlin-fuer-materialien-und-energie-gmbh-hzb)
- Was: Labor- und Messtechnik: A741 PVD Anlage Koala
- Wo: Berlin
- Bis wann: Teilnahmeantrag bis 27.01.2020, 23:45 Uhr
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit: 10 Monate
- Vergabeunterlagen: https://www.subreport.de/E87855726
- Vergabeplattform: [subreport.de](https://vergabeweiser.de/plattform/subreport)

## Leistungsumfang

Eine Vakuum-Depositionsanlage für Schichten zwecks Herstellung von Perowskit Solarzellen. Die Anlage soll als Cluster-Mehrkammer-System alle Schichten ohne Vakuumbruch auf einer Fläche von (200 x 200) mm2 (Silizium Wafergrößen M2-M6) abscheiden. Es sind die folgenden Depositionskammern notwendig: 1) Thermisches Aufdampfen von Perowskit Absorberschichten, wobei 5 oder mehr verschiedene organische und anorganische Precursor-Materialien separat oder gleichzeitig homogen aufgedampft werden können; 2) Thermisches Aufdampfen von organischen und anorganischen Kontaktschichten (HTL und ETL), aus vier oder mehr Quellen; 3) Thermische Atomic-Layer-Deposition (ALD) von Metalloxid Pufferschichten, Schichten von SnO2 abgeschieden bei 100oC als Referenzprozess; 4) Magnetron Sputtern bei Temperaturen von bis zu 250oC mit einem industrienahen Prozess, d. h. dynamisch, idealerweise von Rohrkathoden. Es soll vorgesehen werden: a) Sputtern von TCO Materialien mit minimaler Schädigung der darunterliegenden Perowskit Solarzelle durch Ionen-, Strahlungs- oder thermischen Einfluss, mit z. B. ITO als Referenzprozess; b) Pulsed-DC Sputtern von TCOs und anderen Metalloxiden, z. B. NiOx 4 a. und b. sollen entweder optional angeboten werden als 2 getrennte Sputterzonen oder als austauschbare Quelle in einer Sputterzone. Außerdem soll in die Sputterzone(n) optional separat geschleust werden können (also nicht über den zentralen Roboter). 5) Elektronenstrahl-Verdampfen von Metalloxiden, z. B. NiOx ist optional vorzusehen bzw. muss nachrüstbar sein. Die Anlage soll mit einer automatischen Steuerung incl. Rezeptverwaltung und einem kontaminationsfrei Probenhandlings-System, integrierten Carrier-Cassetten zum Prozessieren von mind. 10 Proben sowie einem abgestimmten Sicherheitskonzept angeboten werden. Für die Be- und Entladung der organischen Materialien (Quellen) müssen Gloveboxen vorgesehen werden.

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Die Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
- CPV-Code: 38400000-9
- CPV-Bezeichnung: [Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften](https://vergabeweiser.de/cpv/38400000-instrumente-zum-pruefen-von-physikalischen-eigenschaften)
- Bekanntmachungs-ID: 612183-2019

## Verlauf

- 24.12.2019: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [HiPOLE – Oberflächenanalyseplattform](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/hipole-oberflaechenanalyseplattform-d3e53cd4) · Zuschlag 10.06.2026 an Anton Paar Germany GmbH · 1 Angebot
- [HiPOLE - Analytische Ultrazentrifuge](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/hipole-analytische-ultrazentrifuge-70ec1706) · Zuschlag 08.06.2026 an Beckman Coulter GmbH · 1 Angebot
- [V249_2024 Behälterservicevertrag, Komponentenauslegung und -lieferung-](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/v249-2024-behaelterservicevertrag-komponentenauslegung-und-lieferung-a35fed1d) · Zuschlag 31.03.2026 an GNS Gesellschaft für Nuklear-Service mbH · 1 Angebot
- [Wi-AOS - Plangittermonochromator NAP-LEEM-XPEEM (Bessy II+)](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/wi-aos-plangittermonochromator-nap-leem-xpeem-bessy-ii-75dfcdfb) · Zuschlag 25.03.2026 an Bestec GmbH · 1 Angebot
- [HiPOLE - Formulierungsplattform](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/hipole-formulierungsplattform-5bff3867) · Zuschlag 12.12.2025 an Chemspeed Technologies AG · 1 Angebot
- [Neubau Verfügungsgebäude 1. BA CatLab](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/neubau-verfuegungsgebaeude-1-ba-catlab-1ba52f64) · Zuschlag 08.12.2025 an Caverion Deutschland GmbH · 4 Angebote

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen in Berlin](https://vergabeweiser.de/region/berlin): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)](https://vergabeweiser.de/vergabestelle/helmholtz-zentrum-berlin-fuer-materialien-und-energie-gmbh-hzb): Ausschreibungen und Zuschläge dieser Vergabestelle
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 24.12.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 05.11.2026.

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Quelle: Bekanntmachung auf TED – Tenders Electronic Daily (© Europäische Union), https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/612183-2019. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/a741-pvd-anlage-koala-6121832019