# 300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132) - PR1184859-3460-P

Abgelaufen · Teilnahmewettbewerb

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 hat einen Auftrag für Maschinen und Geräte in Dresden-Moritzburg ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 18.05.2026 möglich. Ergebnis noch nicht veröffentlicht.

- Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Was: Maschinen und Geräte: 300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132) - PR1184859-3460-P
- Wo: Dresden-Moritzburg, Landkreis Meißen, Sachsen
- Bis wann: Teilnahmeantrag bis 18.05.2026, 08:00 Uhr
- Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab. Für KMU geeignet laut Bekanntmachung.
- Laufzeit: 19.07.2027 bis 29.10.2027
- Vergabeunterlagen: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19cffbf9a39-53417cfcce22c087
- Vergabeplattform: [vergabe.fraunhofer.de](https://vergabeweiser.de/plattform/vergabe-fraunhofer)

## Angaben laut Bekanntmachung

- Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit)
- Art des Auftrags: Lieferung
- Geschätzter Wert: nicht angegeben
- Nachprüfung: Vergabekammern des Bundes
- CPV-Code: 31712100-1
- CPV-Bezeichnung: [Mikroelektronische Maschinen und Geräte](https://vergabeweiser.de/cpv/31712100-mikroelektronische-maschinen-und-geraete)
- Bekanntmachungs-ID: 1653ed3e-9f23-49d7-8daf-51ce023ca9ca

## Verlauf

- 16.04.2026: Ausschreibung veröffentlicht

## Zuschläge dieses Auftraggebers

- [Frequenzbereichserweiterungsmodule für Millimeterwellen-Netzwerkanalyse (FHR-01) - PR926511-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/frequenzbereichserweiterungsmodule-fuer-millimeterwellen-2a3e5854) · Zuschlag 04.08.2026 an bsw TestSystems & Consulting AG · 3 Angebote
- [Plasma Activation Tool (IPMS-MRS14.3) - PR1091613-2480-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/plasma-activation-tool-ipms-mrs143-pr1091613-2480-p-dfcf48a6) · Zuschlag 10.06.2026 an EV Group E. Thallner GmbH · 1 Angebot
- [Plasmasystem (IZM-115.1) - PR1115793-2590-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/plasmasystem-izm-1151-pr1115793-2590-p-20971d4a) · Zuschlag 22.05.2026 an Evatec Europe GmbH · 1 Angebot
- [ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1) - PR1119209-2050-P](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/icp-trockenaetzanlage-chlor-iv-iaf-07b1-pr1119209-2050-p-610a4889) · Zuschlag 30.04.2026 an SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH · 1 Angebot
- [Belacker - PR1147220-2270-W](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/belacker-pr1147220-2270-w-aed7ede4) · Zuschlag 23.04.2026 an SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG · 1 Angebot
- [Energy Propulsion Battery System - PR885296-2060-W](https://vergabeweiser.de/ausschreibung/energy-propulsion-battery-system-pr885296-2060-w-82531a46) · Zuschlag 09.04.2026 an Electric Power Systems, Inc. · 2 Angebote

## Von hier aus weiter

- [Öffentliche Ausschreibungen im Landkreis Meißen](https://vergabeweiser.de/region/sachsen/landkreis-meissen): Offene Ausschreibungen aller Branchen
- [Ausschreibungen der Fraunhofer-Gesellschaft](https://vergabeweiser.de/thema/fraunhofer): Ausschreibungen und Zahlen
- [Verhandlungsverfahren](https://vergabeweiser.de/wissen/verhandlungsverfahren): Wissen: Ablauf und Begriffe

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 16.04.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Stand: 01.11.2026.

Fehler melden: https://vergabeweiser.de/fehler-melden?seite=https%3A%2F%2Fvergabeweiser.de%2Fausschreibung%2F300-mm-beol-large-field-exposure-system-fully-automated-izm-132-1653ed3e

---
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/search/details?noticeId=1653ed3e-9f23-49d7-8daf-51ce023ca9ca. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Seite: https://vergabeweiser.de/ausschreibung/300-mm-beol-large-field-exposure-system-fully-automated-izm-132-1653ed3e